四川弘芯氟醚科技有限公司
耐高温耐各种化学介质腐蚀
适用于超高真空管路KF\NW\ISO密封
pumping line
弘芯采用一体硫化技术，根据客户要求定制不同尺寸大小的门板门阀密封件，适用于半导体装置的真空工艺腔室与传输腔室之间的密封。
适用于半导体设备上真空腔室、传输腔室密封
CVD\PVD
FFKM高洁材质是一种透明色或者琥珀色高性能材质。旨在满足半导体制造过程中苛刻的等离子体、强腐蚀性气体以及超洁净的工艺要求。其独特的配方可提供出色的等离子和化学物质耐受性，其金属含量极低，放气率极低，且具备优异的机械和密封性能。
本产品对强酸、强碱、有机溶剂化学品及高温蒸汽，均能表现出极优越稳定的特性。
反应腔和阀门密封件 气体进出口密封件 反应物输送密封件 盖板和视窗密封 门和闸门密封件
CVD,PECVD,HDPCVD,APCVD,LPCVD,SACVD、Dry ETCH、Oxidation、Diffusion、Wet and Cleaning、Metalization CVD/PVD,Sputtering,Evaporation、Remote Plasma Clean
适合应用在半导体,面板制造业的干式蚀刻制程、快速热制程、扩散制程。石油化工等的高温制程。
CVD,PECVD,HDPCVD,APCVD,LPCVD,ALD，Dry ETCH，Oxidation，Diffusion，IMP,RTP，Metalization CVD/PVD,Sputtering,Evaporation
过氧硫化体系全氟，适用于全氟通用O型圈、垫圈及其他杂件
对大多数化学品具有非常广泛的耐受性。
可生产用于半导体行业的清洁和化学蚀刻工序 的制品以及用于湿法化学的模压制品。
基于俄罗斯进口三嗪硫化的全氟醚混炼胶，硬度75度 基于俄罗斯进口三嗪硫化的全氟醚混炼胶，硬度70~75度
三嗪硫化体系全氟，适用于耐高温全氟通用O型圈、垫圈及其他杂件，不适用蒸汽或热胺工作环境 O型圈、垫圈及模压部件
三嗪硫化体系全氟，适用于耐高温全氟通用O型圈、垫圈及其他杂件，不适用蒸汽或热胺工作环境
基于俄罗斯进口过氧硫化的全氟醚混炼胶，硬度70~75度 基于俄罗斯进口过氧硫化的全氟醚混炼胶，硬度90度
