物理机械性能参考
Honseal-7502B4
| 硬度（Shore A） | 75 |
| 颜色（Color） | 黑色 |
| 模数（100% Modu Mpa） | 11.5 |
| 拉伸强度（Tensile MPa） |
19.0 |
| 延伸率（Elongation,%） | 170 |
| 压缩变形率（%,70hr@315℃） | 37 |
| 连续工作温度（Maximum ，℃） | 325 |
Honseal-7562B2
| 硬度（Shore A） | 73 |
| 颜色（Color） | 黑色 |
| 模数（100% Modu Mpa） | 11 |
| 拉伸强度（Tensile MPa） | 16 |
| 延伸率（Elongation,%） | 135 |
| 压缩变形率（%,70hr@280℃） | 30 |
| 连续工作温度（Maximum ，℃） | 300 |
Honseal-7503B3
| 硬度（Shore A） | 77 |
| 颜色（Color） | 黑色 |
| 模数（100% Modu Mpa） | 9.0 |
| 拉伸强度（Tensile MPa） | 20.5 |
| 延伸率（Elongation,%） | 160 |
| 压缩变形率（%,70hr@300℃） | 35 |
| 连续工作温度（Maximum ，℃） | 315 |
产品说明
建议应用位置
反应腔和阀门密封件(Chamber and Valve Seals)
气体进出口密封件(Gas inlet/outlet Seals)
反应物输送密封件（Reactant delivery system Seals)
盖板和视窗密封（Lid and Window Seals)
门和闸门密封件（Door and Gat Seals)
建议应用制程
薄膜沉积制程(CVD,PECVD,HDPCVD,APCVD,LPCVD,ALD)
干刻制程(Dry ETCH)
氧化制程(Oxidation)
扩散制程(Diffusion)
离子注入和快速热处理制程(IMP,RTP)
金属化处理（Metalization CVD/PVD,Sputtering,Evaporation)
关键词：FFKM耐高温型密封件
相关产品
预混胶
产品咨询
