应用领域
半导体生产
随着半导体行业的不断发展和复杂化，对密封和密封系统的要求也越来越高。我们的FFKM材料非常适用于半导体加工中的极端条件，无论是在处理腐蚀性化学品还是高能系统方面。通过我们独有的聚合物和固化系统，我们能够简化各种应用所需的FFKM材料的种类。
弘芯氟醚可以为您的应用提供成本设计的解决方案，我们独特的固化和材料配方垂直整合回到单体，提供卓越的性能，并具有成本和交付方面的优势。
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应用工序 |
处理工艺 |
工艺温度 |
kalrez | Chemrez | Honseal | 应用案例 |
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湿法处理 |
晶圆制备 |
25-125 | 8085 6375UP 6375 |
E38 513 |
7501W1 7561W1 7561B1 7562B2 |
阀门密封
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蚀刻 |
25-200 | |||||
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光刻 |
25-150 | |||||
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剥离 |
25-150 | |||||
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镀铜 |
25-150 | |||||
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低温处理 |
-40-200 | 0040 |
860 870 |
7001B0 | ||
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等离子体处理 |
高密度等离子体化学气相沉积 等离子体增强化学气相沉积 |
25-200 | 9100 Zalak P770 4079 8475 |
XRZ 657 |
7001W3 7501T2 7501W1 7261B3 |
动点:
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干法蚀刻 |
25-200 | |||||
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灰化/剥离 |
25-250 | |||||
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热处理 |
亚气压化学气相沉积 |
25-300 | 8085 | 657 | 7504W1 7501W1 7501T2 7501T4 7501W2 |
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| 原子层沉积 低压化学气相沉积 |
25-300 | 9100 | ||||
| 氧化 扩散 |
100-300 | |||||
| 退火 热处理 |
100-300 | 8475 |
弘芯氟醚全氟醚橡胶选择指南/Honseal FFKM Selection Guide
| 牌号/GradeName | Honseal-7562B2 | Honseal-8001B4 | Honseal-8001W2 | Honseal-7502W3 | Honseal-7503B3 | Honseal-7504B3 | Honseal-7501A1 | Honseal-7505B3 | Honseal-7501B1 | |
| Kalrez对应牌号 | Kalrez 6375UP |
Kalrez 7075up |
Kalrez 8085 |
Kalrez 8475/8575 |
Kalrez 8700 |
Kalrez 8900 |
Kalrez 9100 |
Kalrez 9300 |
Kalrez W240UP |
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| 颜色/Color | 黑色/black | 黑色/black | 白色/white | 白色/white | 黑色/black | 黑色/black | 琥珀/Amber | 棕色/brown | 黑色/black | |
| 基本物性/PhysicalProperty | 硬度/Hardness, Shore A | 74.6 | 80 | 81 | 74 | 78 | 78 | 77 | 76 | 74 |
| 拉伸强度/Tensile Strengt (MPa) | 15.5 | 20.1 | 17.6 | 13.6 | 25 | 23.1 | 18 | 17.3 | 21.3 | |
| 伸长率/Elongation (%) | 180 | 160 | 260 | 208 | 170 | 150 | 166 | 239 | 210 | |
| 100%定伸/100% Modulus (Mpa) | 8.5 | 12 | 7.92 | 5.24 | 10.5 | 12.5 | 7.4 | 4.92 | 7.3 | |
| 密度/Density | 2.03 | 2.02 | 2.03 | 2.02 | 2.01 | 2.03r | 2.02 | 2.06 | 2.03 | |
| 压变/CompressionSet | 25 200℃ 70hr |
53 325℃ 70hr |
46.3 200℃ 70hr |
12.9 250℃ 70hr |
30 315℃ 70hr |
19.5 280℃ 70hr |
20 250℃ 70hr |
12 250℃ 70hr |
20 200℃×70hr |
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| 最高使用温度/MAX | 280 | 325 | 280 | 300 | 325 | 315 | 300 | 300 | 230 | |
