物理机械性能参考
Honseal-7061B1
| 硬度（Shore A） | 70 |
| 颜色（Color） | 黑色 |
| 定伸强度（100% Modu Mpa） | 9.8 |
| 拉伸强度（Tensile MPa） | 21.4 |
| 延伸率（Elongation,%) | 168 |
| 压缩变形率（%,70hr@200℃) | 24 |
| 连续工作温度（Maximum ，℃） | 250 |
Honseal-7561B1
| 硬度（Shore A） | 75 |
| 颜色（Color） | 黑色 |
| 定伸强度（100% Modu Mpa） | 9.7 |
| 拉伸强度（Tensile MPa） | 21.1 |
| 延伸率（Elongation,%) | 169 |
| 压缩变形率（%,70hr@200℃) | 18 |
| 连续工作温度（Maximum ，℃） | 250 |
Honseal-7561W1
| 硬度（Shore A） | 75 |
| 颜色（Color） | 白色 |
| 定伸强度（100% Modu Mpa） | 6 |
| 拉伸强度（Tensile MPa） | 25.6 |
| 延伸率（Elongation,%) | 190 |
| 压缩变形率（%,70hr@280℃) | 29 |
| 连续工作温度（Maximum ，℃） | 250 |
Honseal-7562B2
| 硬度（Shore A） | 75 |
| 颜色（Color） | 黑色 |
| 定伸强度（100% Modu Mpa） | 10.4 |
| 拉伸强度（Tensile MPa） | 15.6 |
| 延伸率（Elongation,%) | 135 |
| 压缩变形率（%,70hr@280℃) | 30 |
| 连续工作温度（Maximum ，℃） | 300 |
Honseal-8061B1
| 硬度（Shore A） | 80 |
| 颜色（Color） | 黑色 |
| 定伸强度（100% Modu Mpa） | 12.5 |
| 拉伸强度（Tensile MPa） | 22 |
| 延伸率（Elongation,%) | 152 |
| 压缩变形率（%,70hr@200℃) | 23 |
| 连续工作温度（Maximum ，℃） |
250
|
Honseal-9001B2
| 硬度（Shore A） | 90 |
| 颜色（Color） | 黑色 |
| 定伸强度（100% Modu Mpa） | 24 |
| 拉伸强度（Tensile MPa） | 27.3 |
| 延伸率（Elongation,%) | 115 |
| 压缩变形率（%,70hr@200℃) | 30 |
| 连续工作温度（Maximum ，℃） |
250
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产品说明
建议应用位置
反应腔和阀门密封件(Chamber and Valve Seals)
气体进出口密封件(Gas inlet/outlet Seals)
反应物输送密封件（Reactant delivery system Seals)
盖板和视窗密封（Lid and Window Seals)
门和闸门密封件（Door and Gat Seals)
建议应用制程
薄膜沉积制程(CVD,PECVD,HDPCVD,APCVD,LPCVD,SACVD)
干刻制程(Dry ETCH)
氧化制程(Oxidation)
扩散制程(Diffusion)
湿制程和清洗制程（Wet and Cleaning）
金属化处理（Metalization CVD/PVD,Sputtering,Evaporation)
等离子体清理(Remote Plasma Clean)
产品文档
关键词：FFKM耐化型密封件
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