物理机械性能参考
Honseal-7561B1
| 硬度（Shore A） | 75 |
| 颜色（Color） | 黑色 |
| 模数（MPa） | 10 |
| 拉伸强度（Tensile MPa） | 21 |
| 延伸率（Elongation,%) | 169 |
| 压缩变形率（%,70hr@200℃) | 18 |
| 连续工作温度（Maximum ，℃） | 250 |
Honseal-7507B1
| 硬度（Shore A） | 75 |
| 颜色（Color） | 黑色 |
| 模数（MPa） | 10 |
| 拉伸强度（Tensile MPa） | 20 |
| 延伸率（Elongation,%) | 175 |
| 压缩变形率（%,70hr@200℃) | 16 |
| 连续工作温度（Maximum ，℃） | 250 |
Honseal-7505W1
| 硬度（Shore A） | 72 |
| 颜色（Color） | 白色 |
| 模数（MPa） | 9 |
| 拉伸强度（Tensile MPa） | 23 |
| 延伸率（Elongation,%) | 178 |
| 压缩变形率（%,70hr@280℃) | 15 |
| 连续工作温度（Maximum ，℃） | 230 |
产品说明
建议应用位置
反应腔和阀门密封件(Chamber and Valve Seals)
气体进出口密封件(Gas inlet/outlet Seals)
反应物输送密封件（Reactant delivery system Seals)
盖板和视窗密封（Lid and Window Seals)
门和闸门密封件（Door and Gat Seals)
建议应用制程
薄膜沉积制程(CVD,PECVD,HDPCVD,APCVD,LPCVD,SACVD)
干刻制程(Dry ETCH)
氧化制程(Oxidation)
扩散制程(Diffusion)
湿制程和清洗制程（Wet and Cleaning）
金属化处理（Metalization CVD/PVD,Sputtering,Evaporation)
等离子体清理(Remote Plasma Clean)
关键词：FFKM耐化型密封件
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